标准号：GB/T 31226-2014
标准名称：扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法
标准性质：推荐性国家标准
状态：现行｜发布/实施日期：2014-09-30
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https://openstd.samr.gov.cn/bzgk/std/newGbInfo?hcno=324B97797817FE17CC6677E3C8521B83
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GB/T 31226-2014 扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法
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路信通 2013 年进入公路信息化行业，高新技术企业（GR202451005652）。 本文经 AI 辅助整理 + 行业编辑人工审核；内容来源为公开发布的法规、标准与行业动态。
应用场景
本标准面向超净/高纯气体配送系统部件制造商、半导体与光伏工艺设备配套企业、特气管道工程公司以及第三方计量检测实验室。典型应用环节包括：半导体晶圆厂、光伏电池、光纤预制棒、精密实验室供气系统中各类阀门、管接头、过滤器、调压器的内表面洁净度入厂检验与出厂验收，以及洁净管路施工后的内壁状态评定。表面粗糙度直接影响部件密封可靠性、颗粒脱附量与残余气体吸附行为，是判断部件能否用于高纯工艺的关键指标。若不按本方法执行，不同检测机构采用普通轮廓仪、AFM 或徒手 STM 扫描，所得纳米级粗糙度数据缺乏可比性，易在供应商资质审核、来料批次判定中出现争议，导致洁净管路系统洁净度不达标、工艺端颗粒异常或良率波动。本标准为扫描隧道显微术测定气体配送部件表面粗糙度提供了统一的制样、标定、扫描参数与结果表达规范，可作为质量仲裁和供应链追溯的技术依据。
要点速读
- 01规定采用扫描隧道显微术（STM）作为气体配送系统部件表面粗糙度的测定手段
- 02适用于金属及导电材质阀门、管接头、过滤器、调压器等关键过流部件的内壁或接触面
- 03给出标准化的样品制备、仪器标定与扫描参数设置要求
- 04明确纳米尺度下粗糙度参数的计算方法与取值区间
- 05统一测试报告格式与数据表达，便于跨机构结果比对
- 06作为推荐性国家标准（GB/T），适用于质量验收、供应商资质审核与第三方仲裁检测
- 07支撑气体配送系统洁净度与密封性能的入厂/出厂一致性评价
- 08为半导体级高纯气体管路工程的施工验收与运行维护提供量化检测依据
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